完美工艺
半导体用功率工艺气体过滤
uhp工艺气体过滤器用于传统工艺气体过滤的常见问题，例如，过滤器可能释放有害杂质气体以及粒子脱落。在例行维护和发生系统扰乱时，颇尔卓越的过滤器利用行业领先的金属纤维技术，可以快速置换气体和实现分子透明性。无o型圈gaskleen® iv和v ptfe膜可避免o型圈变形和过滤器旁路，否则用于临界氨气（nh3）和臭氧（o3）应用时与标准o型圈不相容时会导致出现该情况。
应用：
- 散料分配系统
- 使用点（pou）
优点：
- 减少与气体相关的缺陷
- 可定制滤材，过滤各种气体
- 行业领先的过滤器品质
- 减少脱气和颗粒物杂质
颇尔工艺气体过滤系统清除关键半导体uhp气流中的颗粒污染物。请联系颇尔专家，了解避免缺陷和提高产率以实现现场最大性能的更多信息。
有关提高工艺效率的更多信息，请联系九游会登陆的过滤专家团队。
我们的产品
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